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真空閥門
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PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝,如蝕刻或 CVD,通過單軸氣動執行器對閘門進行 L 型運動的技術。在 L 型運動中,閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - 在最后的運動中,它被水平推到閘閥座上,密封件以與連接的氣壓相關的固定力接觸閘閥座。
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